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产品简介
PHYS-R80 无接触厚度电阻率测试仪是一款用于硅片的厚度、电阻率测量的仪器，该仪器适用于Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有的材料，所有的设计都符合ASTM(美国材料实验协会)和Semi标准，确保与其他工艺仪器的兼容与统一。
特征
■无接触无损伤测量
■电阻率和厚度同时测量
■适用的晶圆材料包括Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有的材料
■电脑触摸屏显示
■抗干扰强，稳定性好
■强大的工控机控制和大屏幕显示
■一体化设计操作更方便，系统稳定
■为晶圆硅片关键生产工艺提供的无接触测量
技术指标
■测试尺寸：50mm- 300mm.
■厚度测试范围：1000 um，可扩展到1700 um
■ 厚度测试精度： /-0.25um
■ 厚度重复性精度：0.050um
■ TTV 测试精度: /-0.05um
■ TTV重复性精度: 0.050um
■电阻率测试范围：0.1ohm.cm——50 ohm.cm
■ 电阻率测试精度： /- 2%
■ 电阻率测量重复精度： /- 1%
■ 晶圆硅片导电型号：P 或 N型
■ 材料：Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有半导体材料
■ 可用在：切片后、磨片前、后，蚀刻，抛光以及出厂、入厂质量检测等
■平面/缺口：所有的半导体标准平面或缺口
■ 硅片安装：裸片，蓝宝石/石英基底，黏胶带
■ 连续5点测量
应用范围
> 切片
>>线锯设置
>>>厚度
>>>总厚度变化TTV
>>>电阻率
>>监测
>>>导线槽
>>>刀片更换
>磨片/刻蚀和抛光
>> 过程监控
>> 厚度
>>总厚度变化TTV
>> 材料去除率
> 研磨
>> 材料去除率
> 终检测
>> 抽检或全检
>> 终检厚度
>> 终检电阻率
